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硅MEMS惯性传感器研究和开发

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介绍了中国电子科技集团公司第十三研究所在MEMS惯性传感器方面的研究和开发情况.主要有已定型的±501g MEMS电子表容力平衡加速度传感器,即将定型±70g二维MEMS电容力平衡加速度传感器,准备定型的±2g,±10g高分辨率MEMS电容力平衡加速度传感器,已经得到初步应用的单、双轴MEMS热对流加速度传感器,研发中的MEMS振动陀螺仪和高g MEMS加速度传感器等.

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来源
《2003年惯性仪表与元件学术交流会》|2003年|1-12|共12页
会议地点辽宁丹东
作者
杨拥军; 徐爱东; 郑锋; 徐永青; 何洪涛; 卞玉民; 吝海锋; 吕树海; 罗蓉; 邹学锋;
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作者单位

中国惯性技术学会;

中国宇航学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类导航仪表及传感器;
关键词
微型硅; MEMS加速度传感器; MEMS振动陀螺仪;

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