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IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems
IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems
召开年:
2016
召开地:
Laguna Beach, CA(US)
出版时间:
-
会议文集:
-
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1.
A CMOS-compatible oscillation-mode optomechanical DC accelerometer at 730-ng/Hz1/2 resolution
机译:
分辨率为730 ng / Hz1 / 2的CMOS兼容振荡模式光机电直流加速度计
作者:
Jaime Gonzalo Flor Flores
;
Yongjun Huang
;
Ying Li
;
Di Wang
;
Noam Goldberg
;
Jiangjun Zheng
;
Mingbin Yu
;
Ming Lu
;
M. Kutzer
;
Daniel Rogers
;
D. -L. Kwong
;
Layne Churchill
;
Chee Wei Wong
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
Accelerometer;
Optomechanics;
Photonic Crystal;
Radio frequency photonics;
2.
Analysis of gyrocompassing through miniaturized MEMS based on piezoresistive sensing
机译:
基于压阻传感的微型MEMS陀螺罗经分析
作者:
S. Dellea
;
F. Giacci
;
A. F. Longoni
;
G. Langfelder
;
P. Rey
;
Ph. Robert
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
MEMS gyroscopes;
gyrocompassing;
inertial sensors;
nano gauges;
piezoresistive sensing;
3.
A low power MEMS-ASIC silicon resonant accelerometor with sub-??g bias instability and ??30g full-scale
机译:
具有亚?g偏置不稳定性和?30g满量程的低功耗MEMS-ASIC硅谐振加速器
作者:
Jian Zhao
;
Guoming Xia
;
Yang Zhao
;
Anping Qiu
;
Yan Su
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
bias instability;
low power;
silicon resonant accelerometer;
4.
A MEMS inertia sensor with Brownian noise of below 50 nG/???Hz by multi-layer metal technology
机译:
多层金属技术的布朗噪声低于50 nG /?Hz的MEMS惯性传感器
作者:
Daisuke Yamane
;
Toshifumi Konishi
;
Hiroshi Toshiyoshi
;
Kazuya Masu
;
Katsuyuki Machida
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
MEMS;
accelerometer;
gold;
multi-layer metal;
thermal-mechanical noise;
5.
A new electronic feedback compensation method for rate integrating gyroscopes
机译:
速率积分陀螺仪的电子反馈补偿新方法
作者:
Parsa Taheri-Tehrani
;
A. Dorian Challoner
;
Oleg Izyumin
;
Bernhard Boser
;
David Horsley
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
Rate integrating gyroscope;
anisodamping compensation;
disk resonator gyroscope;
quadrature cancellation;
self-precession;
whole-angle mode;
6.
A semi-analytical method for calculating resonator energy loss into plate substrates
机译:
一种计算平板基板谐振腔能量损失的半解析方法
作者:
Christoph Schaal
;
Ajit Mal
;
Robert MCloskey
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
Microsensors;
anchor loss;
resonator;
7.
A tri-fold inertial measurement unit fabricated with a batch 3-D assembly process
机译:
三重惯性测量单元,采用分批3-D组装工艺制造
作者:
Weibin Zhu
;
Casey S. Wallace
;
Navid Yazdi
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
Inertial Measurement Unit (IMU);
MEMS;
accelerometer;
gyroscope;
packaging;
8.
An improved dual-mass decoupled micro-gyroscope for the non-ideal decoupled error suppression
机译:
一种改进的双质量解耦微陀螺仪,用于非理想解耦误差抑制
作者:
Bo Yang
;
Di Hu
;
Yunpeng Deng
;
Xingjun Wang
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
drive decoupled torque;
dual-mass decoupled micro-gyroscope(DDMG);
non-ideal decoupled error;
quadrature error correction;
9.
An optomechanical accelerometer with a high-finesse hemispherical optical cavity
机译:
具有高精度半球形光学腔的光机械加速度计
作者:
Yiliang Bao
;
Felipe Guzmn Cervantes
;
Arvind Balijepalli
;
John R. Lawall
;
Jacob M. Taylor
;
Thomas W. LeBrun
;
Jason J. Gorman
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
Fabry-P??rot;
MEMS;
accelerometer;
optical cavity;
10.
Analysis of the dynamics of a perturbed ring
机译:
扰动环的动力学分析
作者:
Amir Behbahani
;
Robert MCloskey
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
coriolis vibratory gyro;
perturbation analysis;
11.
Bistable forceacceleration sensor based on pull-in voltage monitoring
机译:
基于引入电压监控的双稳态力加速度传感器
作者:
Erez B. Benjamin
;
Stella Lullinsky
;
Slava Krylov
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
Accelerometer;
Bistability;
Fully compliant;
MEMS;
Pull-in;
12.
Dynamic hysteresis calibration algorithm for inertial grade accelerometers
机译:
惯性坡度加速度计的动态磁滞校准算法
作者:
Yaakov Arazi
;
Gruver Jos Luis
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
accelerometers;
calibration;
hysteresis;
inertial;
sensors;
13.
Fiber optic gyro for space applications. Results of RD and flight tests
机译:
用于太空应用的光纤陀螺仪。研发和飞行测试结果
作者:
Yu. N. Korkishko
;
V. A. Fedorov
;
V. E. Prilutskiy
;
V. G. Ponomarev
;
I. V. Morev
;
D. V. Obuhovich
;
S. M. Kostritskii
;
A. I. Zuev
;
V. K. Varnakov
;
A. V. Belashenko
;
E. N. Yakimov
;
G. V. Titov
;
A. V. Ovchinnikov
;
I. B. Abdulminov
;
S. V. Latyntsev
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
fiber optical gyroscope;
space application;
14.
Correlation of frequency, temperature, and bias stability of a Si ring gyro
机译:
硅环陀螺仪的频率,温度和偏置稳定性的相关性
作者:
Randall L. Kubena
;
Richard J. Joyce
;
Anthony D. Challoner
会议名称:
《》
|
2016年
关键词:
Oven Controlled Crystal Oscillator (OCXO);
Si Disc Resonator Gyro (Si DRG);
correlation studies;
frequency locking;
ovenization;
rate bias stability;
thermal feedback;
15.
Development of a highly accurate and low cost measurement device for Field Operational Tests
机译:
开发用于现场操作测试的高精度,低成本测量设备
作者:
Johannes Masino
;
Michael Frey
;
Frank Gauterin
;
Rajat Sharma
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
16.
Dual mode resonant capacitive MEMS accelerometer
机译:
双模谐振电容式MEMS加速度计
作者:
Fatemeh Edalatfar
;
Sadegh Hajhashemi
;
Bahareh Yaghootkar
;
Behraad Bahreyni
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
accelerometer;
capacitive sensing;
electrostatic spring softening;
resonant sensing;
resonator;
17.
Fast and reliable closed-loop wafer-level measurement of gyroscopes drive quality factor
机译:
快速可靠的陀螺仪晶片级闭环测量驱动品质因数
作者:
G. Langfelder
;
M. Vandi
;
N. Aresi
;
T. Frizzi
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
MEMS gyroscopes;
electromechanical characterization;
inertial sensors;
quality factor;
18.
mHRG: Miniature CVG with beyond navigation grade performance and real time self-calibration
机译:
mHRG:微型CVG,具有超越导航等级的性能和实时自校准
作者:
A. A. Trusov
;
M. R. Phillips
;
A. Bettadapura
;
G. Atikyan
;
G. H. McCammon
;
J. M. Pavell
;
Y. A. Choi
;
D. K. Sakaida
;
D. M. Rozelle
;
A. D. Meyer
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
CVG;
Coriolis Vibratory Gyroscope;
Gyroscope;
HRG;
mHRG;
navigation grade;
self-calibration;
strategic grade;
19.
High aspect-ratio low-noise multi-axis accelerometers made from thick silicon
机译:
高纵横比,低噪声,多轴加速度计,由厚硅制成
作者:
Yemin Tang
;
Khalil Najafi
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
DRIE;
accelerometer;
capacitive sensor;
high aspect ratio;
inertial sensors;
low-noise accelerometer;
thick silicon;
20.
High-performance 6-Axis MEMS inertial sensor based on Through-Silicon Via technology
机译:
基于硅通孔技术的高性能六轴MEMS惯性传感器
作者:
Cenk Acar
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
Inertial sensors;
MEMS;
accelerometer;
gyroscope;
21.
HRG by Sagem from laboratory to mass production
机译:
Sagem的HRG从实验室到批量生产
作者:
Alain Jeanroy
;
Gilles Grosset
;
Jean-Claude Goudon
;
Fabrice Delhaye
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
Hemispherical Resonator Gyro;
Inertial System;
Navigation;
22.
In-run scale factor and drift calibration of MEMS gyroscopes with rejection of acceleration sensitivities
机译:
拒绝加速度敏感度的MEMS陀螺仪的运行中比例因子和漂移校准
作者:
Sachin Nadig
;
Visarute Pinrod
;
Serhan Ardanu
;
Amit Lal
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
In-situ calibration;
cross axis sensitivity;
dither stage;
gyroscope;
piezoelectric;
23.
Innovation of flat gyro: Center Support Quadruple Mass Gyroscope
机译:
平面陀螺仪的创新:中心支持四重陀螺仪
作者:
Bin Zhou
;
Tian Zhang
;
Peng Yin
;
Zhiyong Chen
;
Mingliang Song
;
Rong Zhang
会议名称:
《》
|
2016年
关键词:
Center Support;
Closed Loop Control;
Quadruple Mass;
Rate MEMS Gyroscope;
24.
Micro shell resonator with T-shape masses for improving out-of-plane electrostatic transduction efficiency
机译:
具有T形质量的微壳谐振器,可提高面外静电转换效率
作者:
Wei Li
;
Kun Lu
;
Dingbang Xiao
;
Zhanqiang Hou
;
Yan Shi
;
Xuezhong Wu
;
Yulie Wu
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
fused silica (FS);
micro shell resonator (MSR);
transduction efficiency;
25.
Noise analysis in optomechanical inertial sensors
机译:
光机械惯性传感器中的噪声分析
作者:
Jonathan Y. Lee
;
Qiang Lin
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
accelerometer;
cavity-optomechanics;
gyroscope;
26.
Numerical prediction of stress evolution during blowtorch reflow of fused silica micro-shell resonators
机译:
熔融石英微壳谐振器喷灯回流过程中应力演变的数值预测
作者:
Behrouz Shiari
;
Tal Nagourney
;
Ali Darvishian
;
Jae Yoong Cho
;
Khalil Najafi
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
Q-factor;
blowtorch;
finite element analysis;
fused silica;
micro-shell resonator;
residual stress;
27.
On-chip stress compensation on the ZRO of a mode-matched MEMS gyroscope
机译:
模式匹配MEMS陀螺仪的ZRO上的片上应力补偿
作者:
Erdinc Tatar
;
Tamal Mukherjee
;
Gary K. Fedder
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
MEMS gyroscope;
bias compensation;
mode matching;
stress compensation;
28.
Orientation and inertia sensory feedback feasibility using spinning magnetic nanoparticles
机译:
使用旋转磁性纳米粒子的定向和惯性感官反馈可行性
作者:
Brian Krug
;
Johnson Asumadu
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
gyroscope;
inertia;
magnetism;
nanoparticles;
29.
Overcoming limitations of Rate Integrating Gyroscopes by virtual rotation
机译:
通过虚拟旋转克服速率积分陀螺仪的局限性
作者:
Igor P. Prikhodko
;
Jeffrey A. Gregory
;
Dmitry I. Bugrov
;
Michael W. Judy
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
30.
Parametric drive MEMS resonator with closed-loop vibration control at ambient pressure
机译:
在环境压力下具有闭环振动控制的参数驱动MEMS谐振器
作者:
Mingliang Song
;
Bin Zhou
;
Zhiyong Chen
;
Hongbo Wang
;
Tian Zhang
;
Rong Zhang
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
MEMS resonator;
parametric drive;
vibration control;
31.
Performance characterization of the Holloman 120??? centrifuge
机译:
Holloman 120的性能表征离心机
作者:
Mike Hooser
;
Reese Sturdevant
;
Isaac Nacita
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
32.
Silicon vibrating beam accelerometer with ppm grade scale factor stability and tens-ppm grade full-range nonlinearity
机译:
硅振动梁加速度计,具有ppm级比例因子稳定性和数十ppm级全范围非线性
作者:
Guoming Xia
;
Yang Zhao
;
Jian Zhao
;
Qin Shi
;
Anping Qiu
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
frequency demodulation;
nonlinearity;
scale factor;
sensitivity;
silicon vibrating beam accelerometer;
33.
Simulations and experiments of low-frequency spectrum of hemispherical resonator gyroscope
机译:
半球形谐振器陀螺仪低频频谱的仿真与实验
作者:
Sergii A. Sarapuloff
;
Huinam Rhee
;
Taras G. Bondarenko
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
FEM;
inner glass assembly;
low-frequency spectrum;
quartz glass;
shell resonator;
solid-state gyroscope;
34.
Squeezing angle random walk
机译:
挤压角度随机游走
作者:
Erdal Yilmaz
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
35.
Study on surface roughness improvement of Fused Quartz after thermal and chemical post-processing
机译:
化学和化学后处理后熔融石英表面粗糙度改善的研究
作者:
Yusheng Wang
;
Andrei M. Shkel
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
MEMS;
fused quartz;
quality factor;
surface roughness;
vibratory gyroscope;
36.
Sub-degree per hour split mode tuning fork gyroscope
机译:
每小时亚度分叉式音叉陀螺仪
作者:
Yang Zhao
;
An Ping Qiu
;
Qin Shi
;
Guo Ming Xia
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
CMOS readout circuit;
inertial navigation;
subdeg per hour stability;
tuning fork gyroscope;
37.
Temperature compensation of a capacitive MEMS accelerometer by using a MEMS oscillator
机译:
使用MEMS振荡器的电容式MEMS加速度计的温度补偿
作者:
Talha Kose
;
Kivanc Azgin
;
Tayfun Akin
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
MEMS accelerometer;
MEMS resonator;
Temperature compensation;
clamped-clamped DETF;
38.
The mechanical sensitivity optimization of a disk resonator gyroscope with mutative ring thickness
机译:
圆环厚度可变的磁盘谐振器陀螺仪的机械灵敏度优化
作者:
Xin Zhou
;
Qingsong Li
;
Dingbang Xiao
;
Zhanqiang Hou
;
Zhihua Chen
;
Yulie Wu
;
Xuezhong Wu
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
disk resonator gyroscope;
method of moving asymptotes;
particle swarm optimization;
ring thickness distribution;
structure optimization;
39.
Thru-Wafer Interconnects for Double-Sided (TWIDS) fabrication of MEMS
机译:
MEMS双面(TWIDS)制造的直通晶圆互连
作者:
Alexandra Efimovskaya
;
Yu-Wei Lin
;
Andrei M. Shkel
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
40.
Vacuum sealed and getter activated MEMS Quad Mass Gyroscope demonstrating better than 1.2 million quality factor
机译:
真空密封和吸气激活的MEMS四重陀螺仪,质量因子优于120万
作者:
Sina Askari
;
Mohammad H. Asadian
;
Kasra Kakavand
;
Andrei M. Shkel
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
41.
Vertical signal feedthrough for sandwich devices based on anodic bonding and after laser trimming
机译:
基于阳极键合和激光修整后的三明治式设备的垂直信号馈通
作者:
Xinghua Wang
;
Qiang Xu
;
Dingbang Xiao
;
Zhanqiang Hou
;
Zhihua Chen
;
Xuezhong Wu
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
MEMS;
gyroscope;
sandwich;
temperature robustness;
vertical feedthrough;
42.
Whispering gallery mode optical gyroscope
机译:
耳语画廊模式光学陀螺仪
作者:
Wei Liang
;
Vladimir Ilchenko
;
Danny Eliyahu
;
Elijah Dale
;
Anatoliy Savchenkov
;
Andrey Matsko
;
Lute Maleki
会议名称:
《IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems》
|
2016年
关键词:
resonant Sagnac gyroscope;
resonant optical gyroscope;
whispering gallery mode resonator;
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