マイクロ非球面形状の精密ナノ計測に関する研究－走査ステージ運動誤差計測実験

摘要

非球面形状を計測するための最も有効な手法の一つに，走査ステージと接触式プローブを用いた走査型計測法が挙げられる．走査型計測システムにおいて，走査ステージの運動誤差補正が重要な課題である．筆者らはスピンドルに非球面試料を搭載し，スライドに接触式プローブを搭載し非球面試料を走査し，それと同時に補助試料を静電容量型変位計で走査することによってスライドとスピンドルの運動誤差を一括して計測し補正するシステムを開発した．本報告では，運動誤差計測の基準となる補助試料の表面形状を高精度に求めた上で，その表面形状を基準にスライドとスピンドルの運動誤差計測を行った結果について報告する．