zone plates; spatial resolution; x-ray microscopy; electron beam lithography; overlay fabrication technique;
机译:通过电子束光刻和脉冲电压电镀为软X射线成像的30nm Au区板的纳米制剂
机译:通过电子束光刻技术对50 nm的波带片进行纳米加工,并对X射线成像进行局部邻近效应校正
机译:X-Ray Optics:高分辨率多层菲涅耳波带片的3D纳米加工(Adv。Sci。9/2018)
机译:使用覆盖层的15纳米区板的新纳米加工技术
机译:菲涅耳波带片的纳米制造,用于碳边缘的软X射线成像
机译:X‐Ray Optics:高分辨率多层菲涅耳波带片的3D纳米加工(Adv。Sci.9 / 2018)
机译:3D高分辨率多层菲涅耳区板的纳米制作