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【24h】

Geometry Dependence of Leaky-Mode, Waveguide-Coupled, Polysilicon Photodetectors

机译:泄漏模式的几何依赖性,波导耦合,多晶硅光电探测器

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摘要

Characterization of leaky-mode coupled polysilicon MSM photodetectors fabricated in 0.35μm commercial CMOS with varying contact spacing and length reveals short and narrow devices have responsivity sufficient for optical interconnect applications.
机译:泄漏模式耦合多晶硅MSM光电探测器的特征在0.35μm的商业CMOS中,具有不同的接触间隔和长度,揭示了短且窄的器件具有足以用于光学互连应用的反应性。

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