ポリエチレングリコール添加浴からの銅めっき皮膜の表面形態に及ぼす電解時間の影響

摘要

硫酸銅めっき浴から得られる銅めっき皮膜の表面形態は，めっき浴の添加剤の作用により大きく変化する。例えば，ポリマー∴塩化物イオン，硫黄系有機化合物，および四級アミン化合物の4成分の添加剤を硫酸銅めっき浴に添加することにより，得られる銅めっき皮膜は無光沢から光沢に変化することが知られている。これらの添加剤の中でも，ポリマーは電解時間の増加に伴い分解が生じ2，3），その結嵐表面形態に影響を及ぼすことが考えられるが，その分解挙動と表面形態の変化に関する詳細な検討は見当たらない。