モード変換型マイクロ波プラズマCVDによるBドープダイヤモンドの合成におけるキャリアガスの影響

摘要

ダイヤモンドは天然の物質中で最高の硬度を有するだけでなく，耐摩·摺動性に優れ，化学的に安定である．その他，熱伝導性に優れ，光学的には高屈折率を有する．また，電気的には10~(16)Ω·cm程度の抵抗率を示す良好な絶縁体として知られているが，不純物をドープすることで半導体化が可能であり，ドープ量に依存して半導体性から導電性の制御が可能である．