ECRスパッタ法によるフッ素添加カーボン薄膜の摩擦特性

摘要

カーボン薄膜は優れた耐摩耗性から，各種部品の保護膜として研究開発が進められており，膜の薄層化が進む中で，耐摩耗性や導電性などの機能向上が求められている．これまでに筆者等はカーボン膜の機能向上を目途として，電子サイクロトロン共鳴（ECR）スパッタ法を用い，プロセスガスにArとCF_4を使用することで，高い耐摩耗性と導電性を持つフッ素添加カーボン薄膜を作製し，研究を進めてきた．