異なる成膜法を用いたアルミ積層高安定銀薄膜の作製と光学特性評価

摘要

銀薄膜は、紫外線から赤外線領域まで極めて高い反射率を有しているが、耐久性の低さが実用材料としてネックである。本研究室では、銀薄膜にアルミ等の極薄表界面層を積層させることにより、加熱しても凝集しない高安定銀薄膜を開発している1）。そこで本研究ではスパッタリング法と真空蒸着法を用いて、種々の膜厚のアルミ表面層を積層した銀薄膜を作製し、光学特性を調査した。