アルゴンと六フツ化硫黄の混合ガス雰囲気中のPdゐスパッタによる光ファイバーめっきのための触媒化

摘要

近接場光学顕微鏡用駅栄開口型光ファイバープローブ1）を作製するため，光ファイバーをテーパー化した後に，無電解Niめっきする手法が提案されている．（1）光ファイバーの主成分は石英ガラスであるため，無電解でめっきを行うためには，その表面を触媒化しなければならない。しかし∴相のアルゴンイオンスパッタによりテーパー化光ファイバーを触媒化し，Niコートを行っても，純Pdの過剰な触媒能のため，Ni膜にクラックが発生する，それゆえ，Pd触媒能を抑制的に制御することはプローブの量産化を目指す走で，克服すべき課題の一つである。（2）本論文では，光ファイバープローブの無電解Ni主めっきのための触媒化法として，六フッ化硫黄（SF_6）をArに添加した混合ガス雰囲気中でPdのイオンスパッタを行うことを提案する．