各種成膜法により形成したDLC膜の特性（3）--公設試連携DLCランドロビンテスト：硬さ，トライボロジー

摘要

平成23年度の産業技術連携推進会議（産技連）·製造プロセス部会·表面技術分科会において、全国公設試に対するDLC技術調査が実施された。DLCコーティング装置を保有している公設試は20機関以上あり、各種研究開発や技術支援を行っていることがわかった。DLCに関しては各種評価法の国際標準化が我が国主導で進められている。このため、表面技術分科会では、公設試のDLCに関する技術力を更に向上させる必要があるとし、平成24年度、公設試20機関の参加のもと産技連技術向上支援事業「ものづくりに向けたDLCコーティング評価法の検討」を実施した。ここでは、当事業で実施された、DLC膜の機械的特性評価の取り組みとしての、ナノインデンテーション硬さおよびトライボロジー特性に関するラウンドロビン試験結果について報告する。