Cu/Ni多層めっきにおけるめっき層構造の耐摩耗性に及ぼす影響

摘要

異種金属層を交互に重ね合わせる多層膜めっきは，単一金属膜に比べ優れた機械的強度を示すことが知られている。これまで我々は，軟質金属であるCuと硬質金属であるNiを交互に積層したCu/Ni多層膜に着目し，同多層膜の結晶子サイズをコントロールすることによって耐摩耗性が顕著に向上することを報告しており，Ni層を構成するNi粒子の微細化やNi層中へのCu薄層の導入が耐摩耗性の向上に有効であることを見出している1，2）．しかし，めっき膜中に含まれるリン（P）やCuの耐摩耗性に及ぼす具体的な影響については，依然として明確になっていない．そこで，本研究ではNi源の他にCu源，P源を添加しためっき浴，およびP源のみを添加しためっき浴から作製したNi層の結晶サイズおよび耐摩耗特性の相関関係について検討した。