デュアルマイクロ波プラズマ源CVDにより作製した窒化炭素膜の評価

摘要

LiuとCobenは、仮想的な物質β－C_3N_4に対し体積弾性率を計算し、427GPaであることを報告した1）。この値はダイヤモンドの体積弾性率（442GPa）に匹敵することから、この報告以降、β－C_3N_4の合成を目指した研究が多く行われてきた。しかし、現在のところ、単相のβ-C_3N_4の作製に成功したという報告はなく、未だその合成は実現していない。　我々は、C·N独立ラジカル源を有するマイクロ波プラズマCVD装置を独自に開発した。この装置を用い、両ラジカル源をそれぞれ制御することで、窒化炭素膜の合成を試みた。