Sf-MDCによるアルミニウムの局部陽極酸化--白金対極被覆による皮膜成長挙動への影響

摘要

溶液フロー型微小液滴セル（Sf-MDC）とは，キヤビラリ先端に形成した液滴を試料表面に接することにより，液滴が接している微小な範囲のみで電気化学反応を起こすことができる電気化学セルである。Sf-MDCの特徴として，液滴の濃度が常に一定，試料に液滴を接したまま移動可能等が挙げられる。これらの特徴を生かし，樹脂上への銅めっきラインの形成やめっきによる銅の2次元，3次元構造体作製についての報告がある1）。しかし，近年の電子機器の小型化にともない，さらに微小な領域において電気化学反応を生じさせることが求められている。反応領域は，電極間距離とSf-MDC対極の形状により変化すると予想される。本研究では，Sf-MDCの白金線対極に樹脂を被覆し，対極の形状を変化させ陽極酸化を行い，その際形成する皮膜の成長挙動を調査した。