デュアルマイクロ波プラズマ源CVDによる窒化炭素膜の作製と評価

摘要

1989年、LiuとCobenらは、仮想的な物質β－C_3N_4に対し、体積弾性率を計算し、427GPaであることを予測した1）。もし、この予測値の精度が高ければ、ダイヤモンドの体積弾性率（442GPa）に匹敵する。この報告以降、β－C_3N_4の合成を目指した研究が進められているが、未だ実現していない。これは、原料分子の十分な解離度が得られていなかったことによると考えられる。