ECRスパッタカーボン薄膜の電気的·機械的特性の基板種別依存性

摘要

カーボン薄膜は優れた耐摩耗性から各種部品の保護膜として研究開発が進められており，さらなる耐摩耗性の向上あるいは導電性の付与など機能性向上が求められている．これまでに著者等はカーボン薄膜の機能向上を目途として，電子サイクロトロン共鳴（ECR）スパッタ法を用い，高い耐摩耗性と導電性を持っフッ素添加カーボン薄膜を作製し，評価を進めてきた．作製した薄膜の比抵抗値に対する基板の比抵抗値の影響を把握するために，比抵抗値の異なる3種の基板に対して無添加カーボン薄膜およびフッ素添加カーボン薄膜を作製したところ，薄膜の一部で，スクラッチ硬さ，表面粗さで基板の種別の差異が見られた．以下に，実験結果を報告する．