ミクロ多孔質シリコンへの金属めっき：親水化·疎水化処理の影響

摘要

フッ酸溶液中でシリコンを陽極酸化すると、緻密な微細構造を持つ多孔質シリコンが形成される。多孔質シリコンは孔径により分類され、50nm以上の孔をマクロ孔、2から50nmの孔をメソ孔、それ以下の孔をミクロ孔という。多孔質シリコンの半導体特性を利用して孔内に金属めっきを試みた研究は多数報告されており、ナノファイバーやナノ粒子の作製が可能である。