透過型電子顕微鏡によるナノカンチレバーの界面端き裂発生のその場観察

机译：透射电子显微镜理发观察纳米膜界面的界面末端裂纹产生

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本研究では，TEM (Transmission Electron Microscope)内でのその場観察と微小荷重の測定が可能なナノ構造体の界面端からのはく離試験法を開発した．本手法によってナノオーダーのシリコン(Si)／銅(Cu)構造体の界面端はく離試験を行った．

机译：在这项研究中，我们从纳米结构的界面端开发了一种船体间隔的测试方法，可以在TEM（透射电子显微镜）内以原位观察和微小装载来测量。通过该方法进行纳米级硅（Si）/铜（Cu）结构的界面端。

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来源
《日本機械学会年度大会》|2006年||共2页
会议地点
作者
高橋可昌; 平方寛之; 北村隆行;
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正文语种
中图分类 TH-53;
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