繰り返しナノインデンテーションによるコーティング薄膜のはく離

机译：通过重复纳米凸缘释放涂层薄膜

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コーティング薄膜のはく離は電子機器の性能に大きく影響する．それゆえ薄膜·基板間のはく離特性を理解することが重要となる．そこで，本研究では繰り返しナノインデンテーション試験法(Fig.1)によって薄膜·基盤間の界面はく離特性を調べるこ走を目的とする．

机译：涂层薄膜的分离极大地影响了电子设备的性能。因此，重要的是要理解薄膜和基板之间的释放特性。因此，在该研究中，通过纳米缩进试验方法（图1）重复地检查薄膜和底座之间的界面，以及检查释放特性的目的。

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来源
《日本機械学会年度大会》|2006年||共2页
会议地点
作者
上月謙太郎; 大宮正毅; 岸本喜久雄; 井上裕嗣;
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中图分类 TH-53;
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