全空間テーブル化手法による鏡を用いた複数方向からの三次元形状計測

摘要

現在，工業分野における電子部晶の品質検査や金型の検査では高精度で高速な非接触型の三次元形状計測手法が求められている．その手法としては，格子投影法と，格子の解析手法として位相解析を行うことが主流となっており，解析手法としては位相シフト法などが挙げられる．また，全空間テーブル化手法によるキャリブレーションは計測の高速化と精度向上につながり，位置を変えて計測されたデータの合成にも有効である［1］．さらに，再サンプリング［2］等の画像処理によって得られる，同一座標系の複数方向からの計測データ合成において位相評価値［3］［4］を用いることで，精度のよい計測結果を選択し，かつハレーションによる結果への悪影響を低減できる．本研究ではその原理と，全空間テーブル化手法による鏡を用いた複数方向からの三次元形状計測装置と実験結果を示す．