motion control; control system synthesis; reduced order systems; pole assignment; identification; motor drives; production equipment; voice coil motor; super-precision control; air bearing linear stage drive; high precision motion control; coprime factors; control design; model reduction; polynomial pole-placement; sensitivity function shaping; 10 nm;
机译:使用具有可变订单的模糊分数PID控制的音圈电机驱动双轴定位级的非线性轮廓跟踪
机译:带有挠性导向的音圈电机驱动的六自由度运动精细平台的设计
机译:五轴直线电机驱动的超精密机床的研制
机译:音圈电机驱动的线性平台的识别和超精密控制
机译:基于观测器的自适应鲁棒控制,应用于线性电机驱动的高速机电系统的协调精度控制。
机译:使用自整定分数阶比例-积分-微分控制的音圈电机精确位置控制
机译:基于挠曲机构的新型音圈电机驱动微定位平台
机译:压电驱动纳米定位平台的非线性控制设计