首页> 外文会议>LEOS Topical Meeting >Dynamic Microfluidic Photomasking
【24h】

Dynamic Microfluidic Photomasking

机译:动态微流体光掩模

获取原文

摘要

This paper presents a novel microfluidic photomasking strategy. Multi-layer laminar microfluidic streaming is exploited to achieve photomasking with dynamic spatial control. Applications to microarray and photoresist patterning are investigated.
机译:本文提出了一种新型的微流体光掩模策略。利用多层层状微流体流媒体,以实现具有动态空间控制的光掩模。研究了微阵列和光致抗蚀剂图案的应用。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号