electrostatic actuators; integrated optics; micro-optomechanical devices; micromachining; micromirrors; optical arrays; pistons; spatial light modulators; 0.5 micron; 110 V; 120 micron; 3-structural-layer polysilicon process; dual in-plane comb drives; electrostatica;
机译:用于快速空间光调制器的大像素数活塞尖端倾斜反射镜阵列的灵活制造
机译:用等效电路模型优化像素化金属镜FLC-OASLM的灰度性能
机译:薄有源区,Ⅱ型超晶格光电二极管阵列:单像素和焦平面阵列表征
机译:用于可伸缩SLM阵列的活塞 - 尖端倾斜镜像像素的特征
机译:遥感的比例效应:亚像素和超像素土地覆盖特征(马萨诸塞州)。
机译:通过分解差分放大器实现具有密度可缩放的有源读出像素的4.8μVrms噪声CMOS微电极阵列
机译:使用LCOS-SLM和32x32像素CMOS SPAD阵列的多焦点显微镜自动激光对准
机译:超高分辨率,包含9216 x 9216像素,晶圆级,焦平面阵列的电光成帧相机的飞行测试结果