creep; elasticity; elemental semiconductors; micromirrors; silicon; creep free actuation; elasticity; micromirror array; monocrystalline silicon; stress gradients; unsurpassed planarity;
机译:隐藏的铰链微镜阵列(由两层单晶硅组成)的异构3D集成
机译:由单晶硅制成的无漂移微镜阵列,用于自适应光学应用
机译:超大规模异构集成制造的CMOS驱动电子上的百万像素单晶硅微镜阵列
机译:通过晶圆键合制成的大规模,无漂移的单晶硅微镜阵列
机译:高填充因子,小尺寸MEMS微镜和微镜阵列的开发和应用。
机译:单晶硅电池的金字塔形结构的标准偏差定量表征和工艺优化
机译:基于P型单晶织地用硅晶片和高温钝化触点的25.1%效率整体钙钛矿/硅串联太阳能电池