シリカコートプロセスによる液体式傾斜センサと低電圧検出回路

摘要

ガラスキャップとシリカコートプロセスを組み合わせた片面電極型液体式傾斜センサを提案した。検出回路をインバータアンプ式にすることにより電源電圧1.5Vにおいてセンサの動作が確認できた。-10°C～50°Cの間でスパン電圧の温度特性値は2％F.S./0-50°Cであった。