曲面形成リソグラフィによるマイクロレンズの作製

摘要

本研究ではUV-LEDアレイを用いた曲面形成リソグラフィにより，マイクロレンズを作製した。その中でも，露光時間の短縮化のため，従来の露光源よりもLEDの個数を増やし，高光強度，高密度化したUV-LEDアレイを使用した。また，作製したレンズの集光特性を評価するため，光線追跡シミュレーションを行った。