一种用于光刻多极照明的自由曲面微透镜阵列装置

摘要

本发明公开了一种用于光刻多极照明的自由曲面微透镜阵列装置，包括沿光束传播方向依次放置的自由曲面微透镜阵列1和聚光透镜组2；自由曲面微透镜阵列1由按行和列均匀排布的自由曲面透镜单元U构成，每个自由曲面透镜单元U形状相同，自由曲面微透镜阵列1的前表面S1.1为平面，后表面S1.2为自由曲面，自由曲面微透镜阵列1包括偶极照明的自由曲面微透镜阵列和四极照明的自由曲面微透镜阵列；聚光透镜组2由至少一个聚光透镜组成；激光束经自由曲面微透镜阵列1偏折后成像于无穷远，再经聚光透镜组2作用后，出射光束成像于聚光透镜组2的后焦面。本发明结构紧凑、简单；整形效果好，能量利用率高；实用性强，应用范围广。