蛍光X線膜厚計へのモンテカルロ法の応用

摘要

本研究では、MC法の定量分析で使用する光子のエネルギー分布を予め分析前に導出し、それを元にLookup tableを作成し、それを分析に応用することで、高精度かつ短時間に定量分析を行うことが可能になった。