マイクロ·ナノスケールの熱物性センシングとその応用

摘要

本研究の熱物性センシング技術は従来手法と比較して，近接場光，温度波の干渉，ソーレー効果，レーザー誘起表面波，熱的ゆらぎによる表面波など熱物性計測の原理としては従来利用されていなかった物理現象を応用しているため，本質的にマイクロ·ナノスケールの系に適用可能である。