MEMS; micro fluidic controlling system; micro pump;
机译:纳米结构薄膜沉积技术与基于MEMS的微制造技术的集成:在微型气体传感器中的应用
机译:基于MEMS的电热微致动器与添加剂制造技术的制备
机译:基于MEMS的电热微致动器与添加剂制造技术的制备
机译:基于MEMS的微泵技术研究
机译:LUDINGTON泵存储功率项目对通过水轮机通过鱼的鱼群和鱼类行为模式的影响:第一部分。LUDINGTON泵存储的鱼通过水轮机通过鱼所造成的死亡率评估,第二部分。跟踪研究表明,卢丁顿泵浦存储库中鱼的运动模式和鱼的方向。
机译:基于180nm CMOS技术的基于MEMS的振荡器设计
机译:开发用于脉动流输送的微阻抗泵:第1部分:微阻抗泵的流动特性。第2部分:微尺度腔中稳定和脉动传输的系统研究
机译:微/纳米航天器热控制采用基于mEms的泵送液体冷却系统