Laser-produced plasma; x-ray; EUV; lithography;
机译:用于近距离X射线纳米光刻的高功率准直激光等离子体源
机译:来自乘以激光生产的锡等离子体中的乘法型型纳米光刻的突出辐射贡献
机译:光学高温计系统,用于大功率激光产生等离子体中的无碰撞冲击实验
机译:用于纳米光刻的高功率激光产生的等离子体源
机译:优化用于纳米光刻和材料检测的激光产生等离子体。
机译:极紫外光刻光源的激光产生的锡等离子体的电子密度和温度的时间分辨二维分布
机译:来自乘以激光生产的锡等离子体中的乘法型型纳米光刻的突出辐射贡献
机译:高级源开发和应用。激光产生的等离子体:具有高峰值亮度的紧凑型软X射线源。