微粒子高速噴射によるセラミック膜の成膜－第2報 パルス気流によるアルミニウム合金へのアルミナセラミック膜の成膜

摘要

前報では，常温·大気圧下でセラミック膜をアルミニウム合金に成膜することを目的として，粒径の大きいアルミナビーズに粒径の小さいαアルミナを混合付着させた混合微粒子を用いて，アルミナセラミック膜を成膜した．しかし，成膜面が粗くなってしまった．そこで本研究では，平滑な膜を成膜することを目的として，αアルミナのみを使用し，衝突速度を向上させるため，搬送ガスをパルス状に噴射してアルミナセラミック膜の成膜を行い，評価した．