(B-19)HEPAフィルタのピンホールに関する基礎的研究

摘要

空気清浄度が高い空間を求める際に、エアフィルタが使われている。クリーンルームと呼ばれる薬品や半導体の製造空間では、高い空気清浄度が求められるため、定格風量で粒径が0.3［μm］の粒子に対して99.97［％］以上の粒子捕集率をもち、かつ初期圧力損失が245［Pa］以下の性能を持ちのHEPAフィルタを採用される。比EPAフィルタは出荷時には全品検査され、完全性は保証されるものの、実際には輸送、施工時などに小さな傷が出来る事がしばしばある。