Bestimmung der Unsicherheit bei der Lokalisierung von Mikrostrukturen unter Verwendung eines kombinierten optischen Sensorsystems

摘要

Der Beitrag behandelt die Vorgehensweise zur Ermittlung der Unsicherheit bei der beruhrungslosen Lokalisierung von Mikrostrukturkanten unter Verwendung eines kombinierten optischen Sensorsystems, bestehend aus CCD-Bildsensor und Fokussensor. Dabei wird ein Modell zur Beschreibung der Messkette entwickelt, die Einflussgrossen werden Schritt fur Schritt erfasst und mit dem vorhandenen Wissen uber deren Unsicherheit im Modell erganzt. Anhand von Wiederholmessreihen werden Kenntnisse uber die wesentlichen Einflussgrossen gewonnen und an definierten Mikrostrukturubergangen verifiziert.