鉄系金属／ダイヤモンドの熱化学反応を利用した単結晶ダイヤモンドの加工

摘要

本研究室では，Fig1．に示すようにダイヤモンドと鉄系金属であるニッケルの熱化学的相互作用，及びフォトリソグラフィーを利用したダイヤモンドの加工が提案されている．この手法はフォトリソグラフィー技術との相性がよいため，ダイヤモンドを材料としたマイクロデバイスの製作，及び非シリコン系の難加工材料からなるマイクロデバイスの加工用の超微細単結晶ダイヤモンド工具の製作が期待される．本研究では特に，熱化学反応を利用した単結晶ダイヤモンドの微細加工に関して，その原理を明らかにすることを目的とした．