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Single grain array formation on glass substrate by novel micro-light beam seeding method and real time growth position history measurement of super lateral growth

机译：通过新型微光束播种方法和实时生长位置历史测量超级侧向生长的单颗粒阵列形成

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Single grain array was formed on glass by novel micro-light beam seeding method. Closely packed 2D array of 10μm-diameter SLG grains was realized in this method. Besides, real time measurement of the SLG position history during grain growth was measured by arranging time resolved optical measurement (TROM) for the first time. The result showed that SLG growth rate was 5 m/s in constant, regardless of the supercooling degree of the Si melt.

机译：通过新型微光束播种法在玻璃上形成单粒阵列。在该方法中实现了紧密包装的2D阵列10μm直径的SLG晶粒。此外，通过第一次排列时间分辨的光学测量（TROM）测量晶粒生长期间SLG位置历史的实时测量。结果表明，无论Si熔体的过冷度如何，SLG生长速率为5米/秒。

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来源
《International Display Manufacturing Conference FPD Expo》|2007年||共3页
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作者
WenChang Yeh;
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