SRV試験機によるDLC膜の耐はく離性評価（第3報）耐はく離性評価へのAE法の適用

摘要

DLC膜のような硬質薄膜に求められる基本的な特性の一つに耐はく離性が挙げられる．昨今，耐はく離性は，製造時における品質管理の面だけでなく，実用に供された際の信頼性確保の面においても重視されつつあるが，特に後者のニーズに応えうる確固たる評価手法は確立されていないのが現状である．本研究では，ボールオンプレート方式のSRV試験機を用いて，ロックウェル圧痕試験やスクラッチ試験とは異なる観点から，その評価手法の開発に取り組hでいる．前報では，ワイブル分布に基づく統計処理により，はく離荷重の代表値を推定した結果について報告した．その結果，はく離荷重のデータは同一の条件下においても大きくばらつくことに加え，摩擦係数にはいくつかの特徴的な変動が現れるが，それらのパターンとはく離荷重の高低には必ずしも相関が認められないことが明らかになった．これはなじみ過程のような摺動に起因する微細な損耗現象が摩擦係数の変動とはく離荷重の高低に別々に影響を及ぼしていることを示唆している．本報では，その損耗現象を摩擦係数より高感度に追跡可能なアコースティック·エミッション(AE)法を導入し，当該現象を把握する端緒としてAE発生位置の標定を行った結果について報告する．