二硫化モリブデンスパッタ膜の大気中での潤滑特性に及ぼすS/Mo組成比の影響

摘要

SUS440C製ローラに種々の正バイアス電圧（0～+60V）を印加して1.95～2.25のS/Mo組成比（以下，S/Mo比）を有する二硫化モリブデンスパッタ膜を作製し，大気中での潤滑特性（摩擦寿命，摩擦係数）とS/Mo比の関係を調べた．その結果，S/Mo比が約2.1の組成で摩擦寿命（以下，寿命）は最大値を，摩擦係数は最小値を取ることを報告した．ところが，S/Mo比が2.15以上（バイアス電圧45Vと60Vで作製した試料）ではローラの主成分である鉄が膜中に含まれていた．従って，この不純物が潤滑特性の低下に関与していた場合は本当の意味での潤滑特性とS/Mo比の関係が得られていない可能性がある．そこで本報では，膜中に鉄が混入しない方法，すなわちローラが腐食されない二つの方法を検討し，作製した試料の潤滑特性を測定した．この結果を基に潤滑特性とS/Mo比の関係を考察した．