二硫化モリブデンスパッタ膜の大気中における摩擦摩耗特性に及ぼす硫黄対モリブデン組成比の影響

摘要

二硫化モリブデンスパッタ膜は真空中での潤滑特性（摩擦寿命，摩擦係数）や耐荷重性に優れていることから宇宙用機器や半導体製造用搬送装置内の真空用ロボットに軸受用固体潤滑剤として実用化されている．この膜には真空中のみならず試運転調整などを行う大気中においても優れた潤滑特性が要求される．ところが，大気中で使用すると湿度が高くなるにつれて摩擦寿命（以下，寿命と表記）の低下や摩擦係数の増加を招く．この現象には水分が関係していると報告されている．宇宙用機器や真空用ロボットは大気中で試運転調整後に真空中で使用されるために，大気中での潤滑特性の低下は実稼動時（真空中）での寿命の低下につながる．したがって，大気中での潤滑特性の改善が要望されている．