ハードディスク潤滑膜と炭素保護膜の結合形態による類別

摘要

このような種々の要求性能を満たすためには、炭素保護膜上の潤滑膜の結合形態を明らかにすることが重要となる。これまでの研究において、A20HやZ-Dolの炭素保護膜上でのボンディング機構が提唱されてきた。これらの研究例を踏まえ、炭素保護膜上の潤滑膜の結合状態について検討した。