机译:化学机械平面清洗后的刷洗摩擦对铜互连件上新型无孔低k介电氟碳化合物电学特性的影响
机译:在CMP后清洁工艺中使用非接触式刷洗去除颗粒的建模
机译:无孔超低k介电氟碳膜的Cu-CMP后清洗化学品的评估
机译:通过分析超低k电介质的接触动力学在CMP清洁后刮擦刷子擦洗刮擦
机译:开发用于a-SiC和锰CMP的配方以及CMP后的钴清洗。
机译:超声清洗对预混合生物陶瓷根管封闭剂的椭圆形管中纤维桩粘结强度的影响
机译:pVa刷洗涤对大马士革铜互连Cmp后清洗工艺的影响
机译:滚刷管道清洗中毛刷接触力和接触角的简易模型分析