机译:添加到氩氮溅射气体中的氢含量和衬底偏置电压的参数空间,以通过不平衡磁控溅射法形成立方氮化硼薄膜
机译:射频磁控溅射在衬底偏压下沉积非晶硅薄膜的低温固相结晶
机译:射频磁控溅射沉积在蓝宝石衬底上的氧化锌锡薄膜的物理性质
机译:RF磁控溅射法用基板偏置沉积LiCoO2薄膜的特性
机译:射频磁控溅射沉积的氧化钇稳定的氧化锆薄膜的结构和材料性能评估。
机译:在不加热衬底的情况下通过射频磁控等离子体溅射沉积的铝掺杂氧化锌薄膜的空间分辨光电性能
机译:衬底偏压对射频磁控溅射沉积Ti6A14V薄膜晶体结构和表面成分的影响