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Pattern Formation During Anodic Etching of Semiconductors

机译:半导体阳极蚀刻过程中的图案形成

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摘要

The current burst model asserts that current flow through anodically dissolving semiconductor electrodes is localized in space and time. The only relevant parameters of the model are probability functions for current "on" and "off". Interactions between current bursts in space and time account quantitatively, or at least qualitatively, for a wealth of pattern formation phenomena observed on semiconductor electrodes that are classified as oscillations in time and space (= pore formation). The paper reviews these electrode oscillations in the light of the current burst model.
机译:电流突发模型断言通过阳极溶解的半导体电极的电流流动在空间和时间内部化。该模型的唯一相关参数是当前“开”和“关闭”的概率函数。在空间和时间沉淀之间的相互作用定量地,或者至少定性地,用于在半导体电极上观察到的一种模式形成现象,该现象在时间和空间中被分类为振荡(=孔形成)。本文根据当前爆发模型的光线询问这些电极振荡。

著录项

  • 来源
    《ECS Meeting》|2011年||共18页
  • 会议地点
  • 作者

    H. Foil; J. Carstensen;

  • 作者单位
  • 会议组织
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种
  • 中图分类 TQ15-53;
  • 关键词

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