クリーンルーム構成材料、ポリマーの発生ガス評価方法（ⅠⅠ）JACA34－1999発生ガス測定方法と発生ガス量推算の信頼性に影響する諸因子の考察

摘要

クリーンルームの構成材料中の分子状汚染物質（AMCs）の発生ガス量測定方法として、試料を一定温度に保持し、発生するAMCsを捕集濃縮し、GC／MSにより定量するJACA法が標準化されている。発生ガス量の対数は保持温度の逆数に対して（いわゆるArrhenius plotをすると）良い直線関係が実験的に成立することを報告した。この関係を利用して高温で迅速に感度よく測定したデータから、室温での単位時間あたりの発生ガス量を推定することが可能となる。常温での材料の発生ガス量の推定や長時間使用後の構成材料からの発生ガス量の推算にも実用的に適用出来ることが報告されている。