机译:椭圆偏振光谱和红外光谱对非晶/晶体硅异质结太阳能电池的实时监控和过程控制
机译:使用实时光谱椭圆仪对非晶和纳米晶硅的生长进行原位研究
机译:交替沉积硅和氢等离子体处理制备的非晶态和微晶态硅薄膜的生长的实时光谱分析
机译:原位光谱椭圆型测定法,用于氮化硅等离子体蚀刻的实时过程控制
机译:使用实时光谱椭圆偏振法原位控制和监视图案化半导体的干法和湿法蚀刻。
机译:通过原位光谱椭圆偏振法在金属氧化物薄膜的等离子体增强原子层沉积过程中发现前体-表面相互作用
机译:原位光谱椭偏仪的实时过程控制