机译:光栅的椭圆偏振光谱法和反射法(散射法),用于关键尺寸测量和原位实时过程监控
机译:针对“用于临界尺寸测量和就地实时过程监控的光栅的光谱椭圆偏光法和反射法(散射法)”勘误[Thin Solid Films 455-456(2004)828-836]
机译:椭圆偏振光谱和红外光谱对非晶/晶体硅异质结太阳能电池的实时监控和过程控制
机译:用1.25Hz采样率的光谱椭圆形测量法原位实时监测和控制原子层沉积中的动力学过程
机译:原位光谱椭偏仪用于MBE实时监测汞的碲化镉/碲化镉/硅的生长。
机译:通过原位光谱椭圆偏振法在金属氧化物薄膜的等离子体增强原子层沉积过程中发现前体-表面相互作用
机译:脉冲激光沉积同时进行原位实时监测 光谱椭偏仪和反射高能电子 衍射
机译:利用光谱椭偏仪和离子散射及反射光谱法对复合氧化物薄膜中氧的掺入进行原位实时研究