フォトリソグラフィーを用いた微小電極作製法の鉄鋼材料に対する適用の検討

摘要

多結晶体金属における腐食反応は結晶面方位、結晶粒界、結晶構造など微細な金属組織に依存すると考えられる。本研究では、微小な金属表面の電極反応を簡便に測定するためにフォトリソグラフィーの適用を検討する。前報では、Al-Si合金表面上にフォトレジストを直接塗布することにより直径50μm程度の微小電極試料を作製し、カソード反応活性が金属組織に依存することを報告した。しかし同法で鉄鋼材料表面に微小電極試料の作製を試みた場合、レジストの密着性が悪く上述のような金属組織に依存する電極反応の解析には至っていない。