単軸圧縮加工によるアルミニウム表面の超平滑化に関する研究

摘要

半導体，小型燃料電池，バイオ，医療機器，情報など様々な分野で製品の小型化が進hでいる．小型化に伴って材料表面の凹凸が及ぼす影響が大きくなることは明らかである．そのためナノメートルオーダーの表面平滑化がナノテクノロジーの発展には欠かせない．これまで，塑性加工による表面平滑化に関する研究は数多く行われて来ているが，ナノスケールまで立ち入った研究は少ない．そこで筆者らは圧縮加工による超平滑面創成について検討を行うため，単軸圧縮加工によるアルミニウム表面の超平滑化を試み，原子間力顕微鏡（AFM）を利用して調査を行ってきた．本研究では，加工硬化の影響を調べるため，アルミニウム引抜き材の圧縮加工を行い，創成された表面の平滑度についてこれまでに行った焼きなまし材との比較を行った．