CVDダイヤモンド膜コーテッド工具の効率的研磨方法の検討－超音波振動振幅の影響

摘要

本研磨法は超音波振動する研磨工具をダイヤモンド膜に押し当て，送りをかけることによって幅0.5mm程度の帯状の研磨痕を作る．研磨工具にピックフィードピッチをかけ，それを重ね合わせることによって研磨を行う．従って，ピックフィードピッチを広くとるか，工具送り速度を向上させることで，研磨効率も向上させることができると考えられる．ピックフィードピッチを大きくとる方法については前報で報告した通りである．そこで本研究では，研磨時間をこれまで以上に短縮させる目的で，超音波振動振幅の影響について検討をする．