一种基于剪切膨胀效应的化学增强高效超精密抛光方法

摘要

一种基于剪切膨胀效应的化学增强高效超精密抛光方法，结合剪切膨胀效应与化学效应协同作用的抛光新方法。抛光过程中，当法向加压时，受剪切力作用的磨具与工件接触区域会产生剪切膨胀效应，增大磨粒与工件的接触面积，从而提高工件表面的受力均匀性。利用具有抛光作用的磨粒与具有化学作用的化学粉末协同作用，实现工件材料的有效去除并达到抛光的效果。本发明适用加工材料范围广、加工效率高、加工表面质量好。